精準的檢測是超精密光學加工的基礎,沒有準確的測試數據便無法實現超精密光學加工。UPEC經過多年的實踐積累,擁有多種光學檢測方法及技術手段,憑借豐富的專業技術實力,獲上海市科委授牌“上海市專業技術服務平臺光學自由面檢測”。
我們可提供高精度光學球面/非球面測量?、白光干涉儀表面粗糙度測量?、
超精密非球面輪廓檢測、特殊面型及光學系統檢測、高精度形位尺寸測量。
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檢測能力
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主要技術參數
測試軟件項目 | 測評檢測設備器 | 測試精確度 |
高精密度光電器件球體鏡、非球體鏡面型檢測的 | 干涉儀儀、ASI | PV λ/50 |
超精密機械非錐面輪廓線檢則 | 局部儀 | PV λ/10 |
高精密等級三平面坐標自動測量 | 三坐標軸 | 0.3+L/100 μm |
白光燈打攪儀器面不光滑度自動測量 | 白燈干擾儀 | Ra 0.1nm |